Gasonics 810-1213凸轮传感器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品名称

Gasonics 810-1213 凸轮传感器

产品应用领域

1. 半导体等离子处理设备机械运动检测
   用于检测设备内机械凸轮的位置和转动状态，确保机械臂、阀门等运动部件的准确定位和时序控制。

2. 工艺步骤同步与联锁控制
   通过传感器反馈实现机械动作的同步，配合设备控制系统完成安全联锁和工艺流程控制。

3. 机械系统状态监测与故障诊断
   监测凸轮运行状态，预防机械卡滞或异常，辅助设备维护人员进行故障排查和预防性维修。

4. 运动位置反馈输入
   为控制器提供精确的机械位置信号，支持闭环控制系统对运动部件的精准调节。

5. 设备升级与维修替换
   作为原厂标准部件，在 Aura 等 Gasonics 设备中用于替换损坏或性能退化的凸轮传感器。

6. 实验室和研发设备机械动作监控
   在设备研发及测试阶段，用于验证机械运动的准确性和同步性。

英文资料：

product name

Gasonics 810-1213 Cam Sensor

Product application areas

Mechanical motion detection of semiconductor plasma processing equipment

Used to detect the position and rotation status of mechanical cams inside equipment, ensuring accurate positioning and timing control of moving parts such as robotic arms and valves.

Process step synchronization and interlocking control

Synchronize mechanical actions through sensor feedback, and cooperate with equipment control systems to achieve safety interlocking and process control.

Mechanical system status monitoring and fault diagnosis

Monitor the operation status of the cam to prevent mechanical jamming or abnormalities, and assist equipment maintenance personnel in troubleshooting and preventive maintenance.

Motion position feedback input

Provide precise mechanical position signals for the controller and support precise adjustment of moving parts in closed-loop control systems.

Equipment upgrade and maintenance replacement

As a standard component of the original factory, it is used to replace damaged or degraded cam sensors in Gasonics equipment such as Aura.

Laboratory and R&D equipment mechanical motion monitoring

During the equipment development and testing phase, it is used to verify the accuracy and synchronization of mechanical motion.

2.产      品      展      示      

3.其他产品

Kollmorgen 6SM37M-6000伺服电机

KOLLMORGEN CB06561 PRD-B040SSLZ-62伺服驱动器

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4.其他英文产品

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品牌：Gasonics

型号：810-1213凸轮传感器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱