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Gasonics 855-2423气动控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称Gasonics 855-2423 气动控制器模块产品应用领域半导体设备晶圆搬运系统模块主要用于 Gasonics 等离子灰化或蚀刻设备中的晶圆搬运机械臂，控制其气动执行动作，如抓取、释放、伸缩和旋转
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