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Gasonics 810-2850-001电机驱动器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称Gasonics 810-2850-001 电机驱动器模块产品应用领域半导体制造设备该模块主要用于Gasonics品牌的等离子体灰化机（Plasma Asher）和蚀刻设备中，驱动真空腔体内的
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