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Gasonics 06764002控制器板 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称：Gasonics 06764002 控制器板部件类型：控制器电路板（Controller PCB）主要功能：用于 Gasonics 等离子设备中，承担关键子系统（如气体、射频、电源、机械等）的控制逻辑执行
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