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Gasonics A90-029-03升降板 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品名称：Gasonics A90-029-03 升降板部件类型：晶圆承载升降机构组件（Wafer Lift Plate）主要功能：用于在等离子处理设备中实现晶圆的垂直升降，用于搬运、对接和处理位置切换一、等离
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