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Gasonics AWD-D-3-6-002磁控波导 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：该磁控波导组件主要用于将微波源（通常为磁控管）输出的微波能量高效传输到等离子体处理腔体。它是 Gasonics Aura 系列等离子清洗设备中的关键部件，保障微波功率传输的稳定性和方向性。应用领域
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