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Gasonics A93-021-04/C磁控波导 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：Gasonics A93-021-04/C 是一款用于半导体制造设备中磁控管微波系统的磁控波导组件。该组件负责有效传输和调节磁控管产生的微波能量，支持等离子体处理工艺的稳定运行。技术参数（典型）：
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