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Gasonics 15132-01机器人晶圆移动器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：Gasonics 15132-01 是一款用于半导体制造设备中的机器人晶圆移动器，属于三轴机械臂（Z-Bot）类型。它主要负责自动搬运晶圆，实现晶圆在设备内部各工位之间的精准传送，提升生产线的自动
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