Gasonics  15132-01机器人晶圆移动器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

产品概述：
Gasonics 15132-01 是一款用于半导体制造设备中的机器人晶圆移动器，属于三轴机械臂（Z-Bot）类型。它主要负责自动搬运晶圆，实现晶圆在设备内部各工位之间的精准传送，提升生产线的自动化水平和加工效率。

技术参数（典型）：

• 运动轴数：三轴（X、Y、Z 方向）

• 搬运对象：晶圆、载具等半导体工艺材料

• 控制方式：机械驱动，配合设备主控系统协调运动

• 适配设备：Gasonics Aura 系列、L-3500、L-3510 等半导体工艺设备

• 结构形式：工业级机械臂，符合洁净室使用标准

应用场景：

1. 晶圆自动搬运与定位

2. 半导体清洗、蚀刻、沉积等工艺流程中的晶圆传送

3. 自动化生产线内物料的精准转移

4. 替代人工搬运，提高生产稳定性和效率

产品优势：

• 高精度定位与运动控制

• 结构紧凑，适合集成于多种半导体设备中

• 适应洁净室环境设计

• 可作为设备维护和升级的重要备件

英文资料：

Product Overview:

Gasonics 15132-01 is a robotic wafer mover used in semiconductor manufacturing equipment, belonging to the three-axis robotic arm (Z-Bot) type. It is mainly responsible for automatic wafer handling, achieving precise transfer of wafers between various workstations within the equipment, and improving the automation level and processing efficiency of the production line.

Technical parameters (typical):

Number of Motion Axes: Three Axes (X, Y, Z Direction)

Transport objects: semiconductor process materials such as wafers and carriers

Control mode: mechanical drive, coordinated with the main control system of the equipment to coordinate movement

Compatible equipment: Gasonics Aura series, L-3500, L-3510 and other semiconductor process equipment

Structural form: Industrial grade robotic arm, compliant with cleanroom usage standards

Application scenarios:

Automatic wafer handling and positioning

Wafer transfer in semiconductor cleaning, etching, deposition and other process flows

Accurate transfer of materials within automated production lines

Replace manual handling to improve production stability and efficiency

Product advantages:

High precision positioning and motion control

Compact structure, suitable for integration into various semiconductor devices

Adapt to cleanroom environment design

Can serve as important spare parts for equipment maintenance and upgrades

2.产      品      展      示      

3.其他产品

ABB G2000A5.7ST 操作面板

MOTOROLA MVME761-001自动化控制模块

BENTLY 350022M 138607-01系统模块卡件

4.其他英文产品

ASEA DSQC100 connector backplane

ASEA 2668 184-447 Communication Module

RadiSys 61-0475-12 Axis Control Module

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:http://www.jiangxidcs

品牌：Gasonics

型号：15132-01机器人晶圆移动器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货  P8123 DEIF DELOMATIC-3 DGU2机箱