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Gasonics A94-060-01真空臂组件 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：Gasonics A94-060-01 是一款应用于半导体设备中的真空机械臂组件，主要功能是在真空或低压环境中搬运晶圆或工艺载体。该组件为自动化处理设备提供可靠的取放支持，是设备内部晶圆传输系统的
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