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Gasonics 94-1104微波电源发电机 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述：Gasonics 94-1104 是一款微波电源发电机，常用于半导体工艺设备中，特别是在等离子体激发系统内，提供稳定的微波功率以激发气体形成等离子体。该组件由 Astex（后归属 Gerling/Ga
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