Novellus Systems 03-136531-00液体接口模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：Novellus Systems 03-136531-00 液体接口模块是一款专门用于半导体制造设备中的电子控制模块，主要负责液体工艺系统中各类液体阀门和泵浦的控制与信号接口。