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BROOKS 002-9401-01机器人控制器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：Brooks Automation的002-9401-01机器人控制器是一款专为半导体制造和高精度自动化设备设计的核心控制模块。此控制器主要用于管理和协调机器人在晶圆搬运、对准、装载等环节中的操作，确
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