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AMAT 0100-00046工控控制卡件1.产 品 资 料 介 绍：中文资料：AMAT 0100-00046是一款用于半导体制造设备的气体分配系统，主要用于将高纯度气体分配到各种半导体加工过程中。以下是该设备的配置说明和功能作用：AMAT 0100-00046配置说
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