TEL Tokyo Electron 381-640841-3数字输入模块 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
中文资料：
产品名称：TEL Tokyo Electron 381-640841-3 数字输入模块
产品类型：数字量输入模块（Digital Input Module）
制造商：Tokyo Electron Ltd.
一、主要功能：
381-640841-3 是一款用于TEL半导体设备中的数字输入模块，负责采集外部的开关量信号，例如：
安全门开闭检测
机械限位开关状态
气压或真空传感器开关状态
流量阀开关状态
IO控制设备的状态反馈
二、技术特性（根据TEL模块通用设计推测）：
输入类型：数字量信号（干接点或电压输入，一般为24V DC）
通道数：可能为8、16或32路输入通道
信号隔离：光耦隔离
安装方式：背板插卡式，专用于TEL设备内部控制系统
通讯方式：通过TEL设备主控制平台（如PLC、工控主板）与其它模块协作通信
三、应用场景：
此模块通常用于以下Tokyo Electron设备：
涂胶显影机（Coater/Developer）
CVD、Etch、PVD 系统
晶圆搬运和载片系统
腔体控制系统
安全互锁逻辑控制回路
英文资料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 381-640841-3 Digital Input Module
Product type: Digital Input Module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main functions:
381-640841-3 is a digital input module used in TEL semiconductor equipment, responsible for collecting external switch signals, such as:
Safety door opening and closing detection
Mechanical limit switch status
Air pressure or vacuum sensor switch status
Flow valve switch status
Status feedback of IO control devices
2、 Technical characteristics (inferred from the universal design of TEL module):
Input type: Digital signal (dry contact or voltage input, usually 24V DC)
Number of channels: possibly 8, 16, or 32 input channels
Signal isolation: Optocoupler isolation
Installation method: Backboard plug-in card, specifically designed for internal control systems of TEL devices
Communication method: Collaborate and communicate with other modules through the TEL device main control platform (such as PLC, industrial control motherboard)
3、 Application scenarios:
This module is typically used for the following Tokyo Electron devices:
Coater/Developer
CVD, Etch, PVD systems
Wafer handling and wafer loading system
Cavity control system
Safety interlock logic control circuit
2.产 品 展 示
3.其他产品
4.其他英文产品
RADISYS 061-05927-0031 adapter module
KOLLMORGEN S70602-NANANA servo/driver
ASEA ES1530b module card board
| R88SENA-R2-NS-NV-03 | SC323A-024 | S32HNBA-RNVM-00 |
| R88HENA-R2-NS-NV-00 | SC403-017-T4 | SC102-001-T3 |
| R88GSNF-TS-M2-NV-04 | SC101-001 | S31GMNA-RNNM-00 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00-3 | SC402-023-T4 | SC103-001-T1 |
| R88GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-012-T4 | SC103-001-T3 |
| R86HENA-R2-NS-NV-00 | SC323A031 | S32GNNH-RNNM-00 |
| R86GENA-R2-NS-NV-00 | SC402-024 | SC101-001-T2 |
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