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Shinko MCMR-11-2单臂晶圆搬运机器人组件 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:Shinko MCMR-11-2 是一款单臂晶圆搬运机器人组件,属于半导体制造中的晶圆传输设备。产品特点Shinko 原厂单臂晶圆搬运机器人组件,零件号 MCMR-11-2。结构上属于单臂设计,用于晶圆在设
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