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AMAT 0190-54142射频发生器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:射频发生器在半导体工艺里干的就是“点火”的活儿——给工艺腔室提供射频能量,把工艺气体电离成等离子体。AMAT 0190-54142这个型号,就是应用材料(AMAT)设备里的一款原厂射频电源,专为刻蚀和沉积工艺提供稳定能
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