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AE 3152412-264电源供应模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：聊到AE 3152412-264这个电源供应模块，它是Advanced Energy为AMAT Endura金属工艺机台配套的直流电源模块，主要负责给腔体提供稳定可调的直流偏置或加热供电。特点专为AMAT Endura金
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