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AMAT 0010-52036射频匹配器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0010-52036这个射频匹配器，其实就是用在300mm晶圆Preclean和RPC工艺中的射频自动匹配模块，负责让射频发生器的能量高效地传输到腔体里。产品特点专为300mm晶圆的预清洗（Preclean
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