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Nikon 4S066-012-2 半导体放大器模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:Nikon 4S066-012-2 是NSR系列光刻机专用的GCTX放大器模块,用于驱动精密运动部件,是保障光刻机稳定运行的关键硬件。产品特点高度集成,控制与放大功能合为一体。专为NSR系列设计,与主机系统完
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