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TEL E280-000062-13 控制器 MC 机架 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL E280-000062-13 控制器 MC 机架是东京电子（Tokyo Electron）为其半导体设备开发的一款主控制器（MC）机架组件，属于 8 英寸/6 英寸晶圆制造设备中的核心控制单元。
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