LAM 02-422844-00 接口电源模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：LAM 02-422844-00 是泛林半导体为其刻蚀、沉积等半导体设备配套的接口电源模块，用于为设备内部各子系统提供稳定的电源分配与接口管理功能。产品特点作为设备配套电源模块，为内部各子系统提供电力分配与管理。