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LAM 853-250063-007 多轴运动控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：LAM 853-250063-007 多轴运动控制器：半导体设备精密运动控制核心LAM 853-250063-007 是泛林半导体晶圆刻蚀、沉积等设备配套的多轴运动控制器，负责晶圆传输机械手、升降载台等执行
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