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AMAT 0190-37798 联锁模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:AMAT 0190-37798 联锁模块简介AMAT 0190-37798是一款由应用材料公司推出的高性能联锁模块,专为半导体制造设备设计,用于实现各工艺模块之间的安全互锁与状态监控,保障设备安全运行。产品特点(8条)
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