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TEL HTE-OV5-A-11 输入输出模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL HTE-OV5-A-11 是东京电子半导体设备中使用的一款输入输出模块，用于设备内部信号采集和控制。产品特点制造商为东京电子，属于半导体设备专用I/O模块。用于处理设备内部的数字量和模拟量信号。负责采集
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