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AMAT 0100-00510 传输联锁模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0100-00510传输联锁模块是应用材料半导体设备中的安全控制组件，用于晶圆传输过程中的安全联锁保护。15条特点：该型号（0100-00510）用于晶圆传输系统的安全联锁控制。负责腔室之间的安全过渡控
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