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TEL 2L81-050096-V2 气体板 PCB PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:TEL 2L81-050096-V2 气体板 PCB,其主要特点如下:东京电子半导体设备专用气体控制板卡。用于工艺设备中的气体供应管理。负责气体开关与流量调节控制。作为气路系统与主控的信号接口。V2版本较前
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