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Novellus 02-293447-00 数字动态控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Novellus 02-293447-00 数字动态控制器，其主要特点如下：属于Novellus半导体沉积设备专用控制器。型号标识为数字动态控制器系列产品。用于晶圆制造中的运动控制与动态调节。支持闭环
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