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TEL 3R81-000037-12 输入输出模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL 3R81-000037-12 输入输出模块，其产品特点可归纳如下：属于TEL（Tokyo Electron）半导体制造设备专用的I/O控制模块。用于接收外部传感器、开关、继电器等发出的开关量信号。支持
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