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DAIHEN 3Z80-001051-V2 数字等离子控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：DAIHEN 3Z80-001051-V2 数字等离子控制器是半导体设备中用于等离子体工艺精确控制的专用控制单元。中间15条特点：原厂DAIHEN配套部件，与半导体设备深度兼容负责等离子体工艺过程
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