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LAM 02-405890-00 数字动态控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:LAM 02-405890-00 数字动态控制器产品特点LAM 02-405890-00 是泛林半导体为等离子体刻蚀设备配套的数字动态控制器,用于调节腔体射频、压力、温度等核心工艺参数。产品特点:泛林原厂定制组
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