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AMAT 0015-B2470控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0015-B2470控制器模块是应用材料公司推出的一款半导体设备专用控制模块，用于刻蚀、沉积等工艺腔室中的信号处理与逻辑控制。产品特点专为AMAT半导体设备配套设计，兼容性强。用于工艺腔室中的信号处理与逻辑控
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