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LAM 853-143791-912光谱仪 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：LAM 853-143791-912 是科磊（KLA）旗下 LAM 部门或相关半导体设备配套的一款光谱仪或光学检测模块。专为半导体工艺控制与检测设备设计，用于光谱分析与光学测量。采用高灵敏度光学传感器，可精确捕获光谱
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