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AMAT 0090-B0672控制模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0090-B0672 控制模块为应用材料半导体设备配套的专用控制组件，适用于刻蚀、CVD、PVD等工艺设备中的逻辑控制与信号处理。应用材料原厂设计，与设备主控系统硬件完全兼容。集成逻辑控制、信号处理与通信协调功
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