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TEL AP9E-0318C-12输入输出模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:TEL AP9E-0318C-12 输入输出模块为东京电子(Tokyo Electron)半导体设备配套信号转换与控制组件,适用于刻蚀、沉积、涂胶显影等工艺设备中的信号采集与指令输出。标准I/O接口设计,可采集外
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