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AMAT 0190-B6280闸阀 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-B6280 闸阀产品特点AMAT 0190-B6280 是应用材料公司半导体设备中使用的专用闸阀，用于工艺腔体与真空系统之间的通断控制，实现晶圆传输过程中的真空隔离与气流切换。以下是该型号的主要特点：适
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