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TEL 3Z87-006630-V6电子控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：TEL 3Z87-006630-V6 是东京电子（Tokyo Electron）推出的一款电子控制器模块，主要用于半导体制造设备中的工艺控制、数据采集与子系统协调。中间13条特点品牌为TEL（东京电子），型号3Z
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