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AMAT 30612403000中央控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-27355R低温泵具备以下15条主要产品特点：中间15条：专用于ENDURA平台IMP Ti工艺腔室。采用低温冷凝原理，实现洁净高真空。无油无机械旋转部件，避免工艺污染。R版为原厂翻新再制造
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