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BROOKS ESC-204T-S293设备控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：BROOKS ESC-204T-S293 是Brooks Automation为半导体晶圆传输系统配套的高性能设备控制器，其核心特点总结如下：部件编号ESC-204T-S293，为Brooks内部专用控制器
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