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AMAT 0190-64978/03控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-64978/03 控制器模块是应用材料半导体设备中专用于系统控制与通信的核心模块，其核心特点总结如下：部件编号0190-64978/03，其中/03表示硬件版本号。属于AMAT设备内部的专用控
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