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AMAT 0190-25527射频发生器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-25527 射频发生器是应用材料半导体设备中专用于产生射频能量的核心电源模块，其核心特点总结如下：部件编号0190-25527，为AMAT专用备件。用于产生射频能量，激发工艺腔室内的等离子体。输出频
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