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AMAT 0190-B8982电源控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-B8982 电源控制器是应用材料半导体设备中专用于电源管理与分配的控制模块，其核心特点总结如下：部件编号0190-B8982，为AMAT专用备件。主要用于控制并分配工艺腔室的直流或射频电源。适配PV
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