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Yokogawa SR1030B62伺服执行器控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Yokogawa SR1030B62 是一款高性能多轴伺服运动控制器，专为半导体设备、精密机床及工业机器人等高精度自动化应用而设计。产品特点（15条）：SR1030B62 采用模块化设计，支持多达 32 轴
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