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853-088976-004射频匹配盒 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:853-088976-004射频匹配盒主要用于射频功率系统中,实现射频源与负载之间的阻抗匹配,提升能量传输效率并保护射频设备,其应用领域包括:半导体制造设备:用于刻蚀、沉积等工艺中的等离子体射频匹配。真空与薄膜工艺系统:
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