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AMAT Applied Materials DIP-510-002互锁模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:产品概述AMAT DIP-510-002 互锁模块用于半导体制造设备,主要作用是实现设备安全互锁,确保在特定条件下设备能够安全运行,防止操作错误造成设备损坏或人员伤害。技术特点型号:
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