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Gasonics 212689-AN1手臂控制器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：产品概述Gasonics 212689-AN1 手臂控制器是一种用于等离子清洗设备中机械臂或传送机构的驱动控制模块，主要负责晶圆在处理过程中的自动搬运、定位与传送。该控制器通常集成于 Gasonics Aur
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