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Gasonics 90-1028-01可编程压力模块PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：一、产品概述Gasonics 90-1028-01 是专为等离子处理设备设计的 可编程压力模块，用于实时监测和控制设备腔体内的压力参数。该模块集成了高精度压力传感器和可编程控制单元，能够根据预设参数自动调节
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