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Gasonics NL-10256-16波导传感器 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：一、产品概述Gasonics NL-10256-16 是一款专用于等离子处理设备的 波导传感器（Waveguide Sensor），其主要功能是传输和检测微波信号，支持设备中等离子发生器的稳定运行。该传感器
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