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Gasonics 94-2806机器人手臂模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍:一、产品概述Gasonics 94-2806 是一款用于 Gasonics 等离子处理设备中的 机器人手臂模块,主要用于晶圆或工件在设备内部的自动搬运与对位操作。该模块集成了机械结构、驱动组件(如伺服电机)、传
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