Gasonics A97-127-01 控制器模块 PDF资料 1.产 品 资 料 介 绍：Gasonics A97-127-01 控制器模块 是一款用于 Gasonics 等离子体剥离系统中的专用控制器单元，用于控制特定子系统（如气体通道、腔体真空、RF源、载具传输或安全联锁等）的状态和操作逻辑。